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可以用有所不同的观点对传感器展开分类:它们的切换原理(传感器工作的基本物理或化学效应);它们的用途;它们的输入信号类型以及制作它们的材料和工艺等。根据传感器工作原理,可分成物理传感器和化学传感器二大类:传感器工作原理的分类物理传感器应用于的是物理效应,诸如压电效应,磁致前端现象,离化、极化、热电、光电、磁电等效应。被测信号量的微小变化都将转换成电信号。
化学传感器还包括那些以化学导电、电化学反应等现象为因果关系的传感器,被测信号量的微小变化也将转换成电信号。有些传感器既无法区分到物理类,也无法区分为化学类。
大多数传感器是以物理原理为基础运作的。化学传感器技术问题较多,例如可靠性问题,规模生产的可能性,价格问题等,解决问题了这类难题,化学传感器的应用于将不会有极大快速增长。少见传感器的应用领域和工作原理所列下表格。
按照其用途分类 压力敏和力敏传感器方位传感器液面传感器能耗传感器速度传感器 加速度传感器射线电磁辐射传感器热敏传感器24GHz雷达传感器 按照其原理分类 振动传感器滑敏传感器磁敏传感器气敏传感器真空度传感器生物传感器等。 按照其输入信号分类 仿真传感器将被测量的非电学量转换成仿真电信号。 数字传感器将被测量的非电学量转换成数字输入信号(还包括必要和间接切换)。
膺数字传感器将被测量的信号量转换成频率信号或短周期信号的输入(还包括必要或间接切换)。电源传感器当一个被测量的信号超过某个特定的阈值时,传感器适当地输入一个原作的低电平或高电平信号。
按照其材料分类 在外界因素的起到下,所有材料都会做出适当的、具备特征性的反应。它们中的那些对外界起到最脆弱的材料,即那些具备功能特性的材料,被用来制作传感器的敏感元件。从所应用于的材料观点抵达可将传感器分为下列几类: (1)按照其所用材料的类别分:金属聚合物陶瓷混合物 (2)按材料的物理性质分:导体绝缘体半导体磁性材料 (3)按材料的晶体结构分:单晶多晶非晶材料 与使用新材料密切涉及的传感器研发工作,可以概括为特例三个方向: (1)在未知的材料中探寻新的现象、效应和反应,然后使它们能在传感器技术中获得实际用于。 (2)探寻新的材料,应用于那些未知的现象、效应和反应来改良传感器技术。
(3)在研究新型材料的基础上探寻新的现象、新的效应和反应,并在传感器技术中加以具体实施。 现代传感器制造业的进展各不相同用作传感器技术的新材料和敏感元件的研发强度。传感器研发的基本趋势是和半导体以及介质材料的应用于紧密关联的。 按照其生产工艺分类 构建传感器薄膜传感器厚膜传感器陶瓷传感器 构建传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术生产的。
一般来说还将用作可行性处置被测信号的部分电路也构建在同一芯片上。 薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,适当脆弱材料的薄膜构成的。用于混合工艺时,某种程度可将部分电路生产在此基板上。 厚膜传感器是利用适当材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上做成的,基片一般来说是Al2O3做成的,然后展开热处理,使薄膜成形。
陶瓷传感器使用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。 已完成必要的预备性操作者之后,已成形的元件在高温中展开工件。
厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多联合特性,在某些方面,可以指出厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。 每种工艺技术都有自己的优点和严重不足。由于研究、研发和生产所需的资本投放较低,以及传感器参数的高稳定性等原因,使用陶瓷和厚膜传感器较为合理。
根据测量目的分类 物理型传感器是利用被测量物质的某些物理性质再次发生显著变化的特性做成的。 化学型传感器是利用能把化学物质的成分、浓度等化学量转化成电学量的敏感元件做成的。 生物型传感器是利用各种生物或生物物质的特性制成的,借以检测与辨识生物体内化学成分的传感器。
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